[实用新型]限位装置及沉积设备有效
| 申请号： | 201820973506.4 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN208256715U | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 赵荣森;潘登;胡超;舒毅 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种限位装置及沉积设备，所述限位装置用于对不锈钢柔性件边缘限位，包括：基座；以及设置于所述基座上的限位组件，所述限位组件与所述基座围设成限位通道，所述限位通道用于对穿过的所述不锈钢柔性件边缘限位。当不锈钢柔性件发生晃动时，限位通道的内壁能够与不锈钢柔性件边缘相接触，限位通道的内壁可对不锈钢柔性件施加压力，以限制不锈钢柔性件边缘的晃动幅度；达到减小不锈钢柔性件边缘的晃动的目的，进而降低不锈钢柔性件边缘与沉积腔室内壁接触的几率，以避免不锈钢柔性件的边缘被刮伤，提高电池的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性件 不锈钢 限位通道 限位装置 沉积设备 限位组件 内壁 限位 晃动 本实用新型 晃动幅度 施加压力 沉积腔 室内壁 刮伤 减小 良率 围设 穿过 电池 | ||
【主权项】：
1.一种限位装置，用于对不锈钢柔性件边缘限位，其特征在于，包括：基座；以及设置于所述基座上的限位组件，所述限位组件与所述基座围设成限位通道，所述限位通道用于对穿过的所述不锈钢柔性件边缘限位。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
