[实用新型]一种单晶炉充气结构有效
| 申请号： | 201820980632.2 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN208455103U | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 时刚;刘统青;王倩 | 申请（专利权）人： | 西安创联新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种单晶炉充气结构，包括设置在上传动底板底部的环形装置，该环形装置配有一排螺钉孔，该排螺钉孔将环形装置固定在副炉室的上传动底板的底面，所述环形装置还设置有气体流通槽，该气体流通槽与充入上传动底板的氩气相通，所述气体流通槽内有一排通孔，所述通孔与副室相通。本实用新型结构简单，安装方便，能有效改善氩气充入副室的均匀度，提高炉膛内真空度的稳定性，有利于提高晶体生长品质。 | ||
| 搜索关键词： | 环形装置 气体流通槽 传动底板 本实用新型 氩气 充气结构 单晶炉 螺钉孔 副室 通孔 相通 炉膛 安装方便 晶体生长 副炉室 均匀度 底面 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉充气结构，其特征在于，包括设置在上传动底板底部的环形装置，该环形装置配有一排螺钉孔，该排螺钉孔将环形装置固定在副炉室的上传动底板的底面，所述环形装置还设置有气体流通槽，该气体流通槽与充入上传动底板的氩气相通，所述气体流通槽内有一排通孔，所述通孔与副室相通。
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