[实用新型]半导体单晶炉气囊密封式异形阀有效
| 申请号： | 201820982183.5 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN208565606U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 赖章田;贺贤汉;夏孝平;黄保强;河野贵之 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/06 | 分类号： | F16K3/06;F16K3/10;F16K3/314;F16K3/30;F16K27/04;F16K31/12;F16K49/00 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 顾兰芳 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供半导体单晶炉气囊密封式异形阀，包括一主阀体、一副阀体和阀芯，阀芯位于主阀体与副阀体之间，副阀体通过铰链安装在主阀体上，主阀体与副阀体的连接处设有O型密封圈，副阀体与铰链的连接处设有十个螺钉；阀芯包括磁流体、磁流体密封圈、阀芯密封圈、磁流体座、锁紧螺母、球轴承和下盖装配而成，阀芯通过驱动气缸绕磁流体的中心轴线旋转运动，阀芯开启的最大角度为65°；阀芯还包括阀芯充放气接头和安全气囊，阀芯充放气接头连接安全气囊，阀芯充放气接头上设有电磁阀。 | ||
| 搜索关键词： | 阀芯 副阀体 主阀体 充放气接头 半导体单晶 气囊密封式 磁流体 异形 磁流体密封圈 阀芯密封圈 安全气囊 磁流体座 铰链安装 连接安全 驱动气缸 锁紧螺母 中心轴线 螺钉 电磁阀 球轴承 气囊 阀本 铰链 下盖 装配 | ||
【主权项】：
1.半导体单晶炉气囊密封式异形阀，其特征在于：包括一主阀体、一副阀体和阀芯，所述阀芯位于主阀体与所述副阀体之间，所述副阀体通过铰链安装在所述主阀体上，所述主阀体与所述副阀体的连接处设有O型密封圈，所述副阀体与所述铰链的连接处设有十个螺钉；所述阀芯包括磁流体、磁流体密封圈、阀芯密封圈、磁流体座、锁紧螺母、球轴承和下盖装配而成，所述阀芯通过驱动气缸绕磁流体的中心轴线旋转运动，所述阀芯开启的最大角度为65°；所述阀芯还包括阀芯充放气接头和安全气囊，所述阀芯充放气接头连接所述安全气囊，所述阀芯充放气接头上设有电磁阀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海汉虹精密机械有限公司，未经上海汉虹精密机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820982183.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种自带控制的摆动阀
- 下一篇：一种平脚双控恒温阀芯
