[实用新型]一种多晶炉四抽气口管道系统有效
| 申请号： | 201820983985.8 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN208455111U | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 时刚;武海军;周龙 | 申请（专利权）人： | 西安创联新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种多晶炉四抽气口管道系统，包括炉室，在炉室上均匀设置有第一抽气口、第二抽气口、第三抽气口以及第四抽气口，所述第一抽气口和第四抽气口通过第一支路三通连接至第一支路弯管，所述第二抽气口和第三抽气口通过第二支路三通连接至第二支路弯管，所述第一支路弯管和第二支路弯管通过主三通连接至真空阀，所述真空阀与真空泵连接。所述第一抽气口、第二抽气口、第三抽气口以及第四抽气口位于上炉室侧壁，且对称分布，以达到炉内气流和温度成分布的均匀对称。 | ||
| 搜索关键词： | 抽气口 支路 弯管 管道系统 三通连接 多晶炉 真空阀 炉室 本实用新型 真空泵连接 对称分布 均匀对称 均匀设置 炉内气流 上炉室 主三通 侧壁 | ||
【主权项】：
1.一种多晶炉四抽气口管道系统，其特征在于，包括炉室，在炉室上均匀设置有第一抽气口、第二抽气口、第三抽气口以及第四抽气口，所述第一抽气口、第二抽气口、第三抽气口以及第四抽气口分别对应设置有第一抽气支管道、第二抽气支管道、第三抽气支管道、第四抽气支管道，所述第一抽气支管道和第四抽气支管道通过第一支路三通连接至第一支路弯管，所述第二抽气支管道和第三抽气支管道通过第二支路三通连接至第二支路弯管，所述第一支路弯管和第二支路弯管通过主三通连接至真空阀，所述真空阀与真空泵连接。
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