[实用新型]基板处理装置

摘要

本实用新型涉及一种基板处理装置。如果作业人员在基板处理装置内部填充有非活性气体而氧浓度低于规定值的情况下进入基板处理装置内部，则有窒息的危险。基板处理装置具备：对基板进行热处理且具有开口部的处理容器；与处理容器经由开口部连通的装载室，该装载室具有搬送机构、晶圆的搬入搬出口和用于作业人员出入的门开口；对搬入搬出口进行打开和关闭的第一开闭机构；对处理容器的开口部进行打开和关闭的第二开闭机构；对门开口进行打开和关闭的第三开闭机构；以及利用非活性气体进行冷却的冷却机构。通过本实用新型的基板处理装置，提供一种考虑了维修维护时的安全性的基板处理装置。

主权项

1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：处理容器，其用于对被保持于基板保持器具的基板进行热处理，具有开口部；装载室，其与所述处理容器经由所述开口部连通，设置有用于在所述装载室与所述处理容器之间进行所述基板保持器具的搬入搬出的搬送机构、用于在所述装载室外与该装载室之间进行晶圆的搬入搬出的搬入搬出口、以及用于作业人员出入的门开口；第一开闭机构，其构成为能够将所述装载室的所述搬入搬出口打开和关闭；第二开闭机构，其构成为能够将所述处理容器的所述开口部打开和关闭；第三开闭机构，其构成为具备能够将所述装载室的所述门开口打开和关闭的门，以及能够将该门锁定在关闭门开口的位置和解除该锁定的锁定部；以及冷却机构，其利用非活性气体对被进行了热处理后搬出至所述装载室的所述基板保持器具所保持的基板进行冷却。