[实用新型]一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置有效
| 申请号： | 201820987708.4 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN208584655U | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 周传水;张玲莉;余永强;王友乐;柯尚文;李隽;康明锋;范家伟;董永亮 | 申请（专利权）人： | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B28B13/02 | 分类号： | B28B13/02;B28B17/00;B28B3/02;B28C3/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 左恒峰 |
| 地址： | 528137 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置，包括脱泡罐、储料罐、气动阀和输送管道，所述脱泡罐于底部通过气动阀和输送管道与储料罐连接，还包括设于脱泡罐上表面并与脱泡罐内部连通的真空泵、设于脱泡罐下表面的超声振子、空压机、设于脱泡罐与储料罐上表面并分别与罐体内部连通的泄压阀、模具、设于脱泡罐内部的搅拌机，以及空气管道。本实用新型公开的一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置集ITO浆料的脱泡与注浆工序于一体，自动化程度高，极大程度地简化了操作，自动化控制比人工操作更加稳定、精准，有效减少了不良品的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 脱泡罐 脱泡 一体式装置 真空超声 注浆成型 储料罐 本实用新型 输送管道 气动阀 上表面 搅拌机 自动化控制 超声振子 罐体内部 空气管道 内部连通 人工操作 有效减少 不良品 空压机 下表面 泄压阀 真空泵 浆料 注浆 连通 模具 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置，包括脱泡罐(2)、储料罐(4)、气动阀(8)和输送管道(13)，所述脱泡罐(2)于底部通过气动阀(8)和输送管道(13)与储料罐(4)连接，其特征在于：还包括设于脱泡罐(2)上表面并与脱泡罐(2)内部连通的真空泵(1)、设于脱泡罐(2)下表面的超声振子(3)、空压机(5)、设于脱泡罐(2)与储料罐(4)上表面并分别与罐体内部连通的泄压阀(7)、模具(9)、设于脱泡罐(2)内部的搅拌机(10)，以及空气管道(14)，所述储料罐(4)通过气动阀(8)和输送管道(13)与模具(9)内部连通，所述空压机(5)通过空气管道(14)和气动阀(8)与脱泡罐(2)的顶部连接，所述空压机(5)通过空气管道(14)和气动阀(8)与储料罐(4)的顶部连接。
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