[实用新型]检测板有效

专利信息
申请号: 201820999356.4 申请日: 2018-06-26
公开(公告)号: CN208351245U 公开(公告)日: 2019-01-08
发明(设计)人: 李娟;王欣欣;陈丽琴;李艳国 申请(专利权)人: 广州兴森快捷电路科技有限公司;深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司;宜兴硅谷电子科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 李丹
地址: 510663 广东省广州市广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种检测板,包括:检测板本体,检测板本体包括第一可曝光面及第二可曝光面;该检测板本体还包括坐标检测位组及坐标参考位组,坐标检测位组包括第一坐标检测位和第二坐标检测位,坐标参考位组包括第一坐标参考位、第二坐标参考位、第三坐标参考位和第四坐标参考位;其中,第一坐标参考位和第二坐标参考位间隔设置于第一可曝光面,第一坐标检测位设置于第一坐标参考位和第二坐标参考位之间,第三坐标参考位和第四坐标参考位间隔设置于第二可曝光面,第二坐标检测位设置于第二可曝光面,且第二坐标检测位设置于第三坐标参考位和第四坐标参考位之间,该检测板能降低对曝光机曝光精度和抓靶能力检测的检测误差。
搜索关键词: 参考 坐标检测 曝光面 检测板 位组 位设置 间隔设置 检测误差 能力检测 曝光机 种检测 曝光 检测
【主权项】:
1.一种检测板,其特征在于,包括:检测板本体,所述检测板本体包括第一可曝光面及与所述第一可曝光面相对的第二可曝光面;所述检测板本体还包括坐标检测位组和坐标参考位组,所述坐标检测位组包括第一坐标检测位和第二坐标检测位,所述坐标参考位组包括第一坐标参考位、第二坐标参考位、第三坐标参考位和第四坐标参考位;其中,所述第一坐标参考位和所述第二坐标参考位间隔设置于所述第一可曝光面,所述第一坐标检测位设置于所述第一可曝光面、且所述第一坐标检测位设置于所述第一坐标参考位和所述第二坐标参考位之间,所述第三坐标参考位和所述第四坐标参考位间隔设置于所述第二可曝光面,所述第二坐标检测位设置于所述第二可曝光面,且所述第二坐标检测位设置于所述第三坐标参考位和所述第四坐标参考位之间,所述第一坐标检测位和所述第二坐标检测位一一对应设置,所述第一坐标参考位和所述第三坐标参考位对应设置,所述第二坐标参考位和所述第四坐标参考位对应设置。
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