[实用新型]一种用于单晶硅棒的测量装置

摘要

本实用新型涉及硅棒检测设备领域，尤其涉及一种用于单晶硅棒的测量装置，包括长度测量部分和直径测量部分；所述长度测量部分包含工作台、固定架，且所述固定架固定横杆；所述横杆的外侧套接滑套，且所述滑套的底部固定气动杆；所述气动杆的底部固定有固定板，第一测量板的底部边缘处固定挡板，且所述第一测量板的一端通过卷尺连接第二测量板；所述第二测量板的顶部有第二连接杆，且所述第二连接杆通过发条弹簧连接转轴；所述第二连接杆固定活动板，且所述活动板连接限位杆；所述直径测量部分包含外伸板、第一压板和第二压板和标尺。本实用新型不但操作简单，测量全面，同时测量精准，可有效的避免测量出现错位、偏位的差错，效率高，速度快。

主权项

1.一种用于单晶硅棒的测量装置，包括长度测量部分和直径测量部分；其特征在于：所述长度测量部分包含工作台(2)，所述工作台(2)的端部固定有固定架(1)，且所述固定架(1)的顶部固定横杆(3)；所述横杆(3)的外侧套接滑套(4)，且所述滑套(4)的底部固定气动杆(5)；所述气动杆(5)的底部固定有固定板(6)，且所述固定板(6)的底部通过第一连接杆(8)连接第一测量板(9)；所述第一测量板(9)的底部边缘处固定挡板(901)，且所述第一测量板(9)的一端通过卷尺(10)连接第二测量板(13)；所述第二测量板(13)的顶部固定第二连接杆(12)，且所述第二连接杆(12)的内部通过发条弹簧(23)连接转轴(22)；所述转轴(22)的外侧缠绕所述卷尺(10)；所述第二连接杆(12)的顶部固定活动板(15)，且所述活动板(15)滑动连接限位杆(14)；所述限位杆(14)固定于所述固定板(6)的侧部；所述直径测量部分包含外伸板(19)，所述外伸板(19)固定于所述工作台(2)的侧部，且所述外伸板(19)的表面滑槽(1901)处滑动连接第一压板(17)和第二压板(20)；所述外伸板(19)的侧部刻有标尺(18)。