[实用新型]一种H2SO4/S2O82-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统

摘要

本实用新型公开了一种H₂SO₄/S₂O₈^2‑微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统，解决了常见微蚀刻废液回收金属铜后依然有硫酸盐废液排出的问题，包括第一电解槽、蚀刻机微蚀刻液储槽、调节装置和冷却装置，所述第一电解槽内设有将第一电解槽分隔为阳极室和阴极室的离子交换膜，所述阳极室内设有供微蚀刻废液中的硫酸根离子发生电化学氧化反应的阳极件，所述阴极室设有供微蚀刻废液中的铜离子发生电化学还原反应的阴极件，所述阳极件和阴极件之间连接有第一电源，所述阳极室还连通有储存有阳极液的阳极液储槽，所述阴极室内经过电化学除铜后的微蚀刻废液导入所述阳极液储槽内，达到实现金属铜回收及微蚀刻液同步再生的目的。

主权项

1.一种H2SO4/S2O82‑微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液装置，其特征在于，包括第一电解槽(1)，所述第一电解槽(1)内设有将所述第一电解槽(1)分隔为阳极室(2)和阴极室(3)的离子交换膜(4)，所述阳极室(2)内设有供微蚀刻废液中的硫酸根离子在其表面发生电化学氧化反应的阳极件(5)，所述阴极室(3)设有供微蚀刻废液中的铜离子在其表面发生电化学还原反应的阴极件(6)，所述阳极件(5)和阴极件(6)之间连接有第一电源(7)。