[实用新型]一种原子束显微装置

摘要

本实用新型涉及对材料的显微技术领域，一种原子束显微装置，包括储气罐、气管、由腔体I和腔体II连接成的真空腔体、喷射头、分流器、气体透射窗片、原子衍射片、原子衍射片通孔种类I、原子衍射片通孔种类II、原子衍射片通孔种类III、探测器I、样品、样品台、计算机、探测器II、抽气口I、真空泵组I、抽气口II、真空泵组II，本实用新型原子衍射片采用一系列通孔代替波带片的环状结构，所述通孔比标准的菲涅尔波带片的无支撑的环结构更易于加工，并通过选择合适的通孔直径和通孔分布，优化了原子束流的聚焦效果，能够得到锐利的聚焦束斑，并抑制更高阶的衍射。