[实用新型]多膜层连续镀膜设备有效
| 申请号： | 201821019860.X | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN208071804U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 朱建明 | 申请（专利权）人： | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 谢静娜 |
| 地址： | 52606*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种多膜层连续镀膜设备，包括依次连接的表面处理室、多膜层镀膜室和出片真空室，各真空室内均设有工件往复移动机构；工件往复移动机构设于基片架下方，基片架上方设有磁导向机构，工件往复移动机构中的主动驱动托轮和从动支承轮分别设于真空室内的安装支架上，相邻的两个主动驱动托轮之间分布有多个从动支承轮，在主动驱动托轮的带动下，基片架沿从动支承轮和磁导向机构进行往复移动。其方法是工件往复移动机构带动基片架及工件在表面处理室内往复移动进行多次表面粗化和清洁处理；然后在多膜层镀膜室内往复移动，实现多膜层镀膜；最后从出片真空室将工件送出。本实用新型可有效简化设备结构，提高镀膜效率和膜层均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 多膜层 往复移动机构 基片架 从动支承 主动驱动 室内 托轮 连续镀膜设备 本实用新型 出片真空室 磁导向 镀膜 简化设备结构 膜层均匀度 安装支架 表面粗化 镀膜效率 清洁处理 依次连接 镀膜室 送出 | ||
【主权项】：
1.多膜层连续镀膜设备，其特征在于，包括依次连接的表面处理室、多膜层镀膜室和出片真空室，表面处理室、多膜层镀膜室和出片真空室内均设有工件往复移动机构；工件往复移动机构设于基片架的下方，基片架的上方设有磁导向机构，工件往复移动机构包括主动驱动托轮和从动支承轮，主动驱动托轮和从动支承轮分别设于真空室内的安装支架上，相邻的两个主动驱动托轮之间分布有多个从动支承轮，在主动驱动托轮的带动下，基片架沿从动支承轮和磁导向机构进行往复移动。
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