[实用新型]一种硅片插片检测装置有效
申请号: | 201821021066.9 | 申请日: | 2018-06-29 |
公开(公告)号: | CN208765675U | 公开(公告)日: | 2019-04-19 |
发明(设计)人: | 吴仕通;杨建国;吴小伟;申朝锋 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/16 | 分类号: | G01B11/16 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 钟欢 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开的一种硅片插片检测装置,包括设置于花篮前部两侧的信号发射器以及设置于花篮背部的信号接收器,所述信号反射器和信号接收器相对设置且两者的连线穿过花篮的插片槽。本实用新型的硅片插片检测装置利用处于同一水平面的多个激光发射器和激光接收器传输信号,当花篮发生形变时信号传输中断,则可判断该插片槽发生形变。该检测装置可以根据花篮和硅片尺寸进行调节,适用性高,而且检测精度高,不需要员工进行卡片处理,解放了劳动力、降低劳动强度,同时还提高了生产插片效率。 | ||
搜索关键词: | 检测装置 花篮 硅片 插片 本实用新型 信号接收器 形变 插片槽 激光发射器 激光接收器 信号发射器 信号反射器 传输信号 卡片处理 同一水平 相对设置 信号传输 连线 前部 穿过 中断 检测 员工 生产 | ||
【主权项】:
1.一种硅片插片检测装置,其特征在于,包括设置于花篮前部两侧的信号发射器以及对应设置于花篮背部的信号接收器,所述信号发射器和信号接收器相对设置且两者的连线穿过花篮的插片槽。
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