[实用新型]水平舟生产法的反应装置有效
| 申请号： | 201821021625.6 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN208965082U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 雷仁贵;肖亚东;谈笑天 | 申请（专利权）人： | 汉能新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B11/02;C30B11/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 宋丹氢;张天舒 |
| 地址： | 101407 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于水平舟生产法的反应装置。该装置包括密闭反应管，所述反应管在水平方向的不同位置处布置有水平舟容器，其中，所述水平舟容器包括至少一个第一层水平舟容器，在所述第一层水平舟容器的至少一个上设置有支架装置，在所述支架装置上叠置一第二层水平舟容器，其中，所述支架装置设置为支撑所述第二层水平舟容器，并在所述第一层水平舟容器和第二层水平舟容器之间提供间隙。本实用新型提供的装置可实现水平舟的更灵活布置，并改进半导体的生产工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 支架装置 第一层 本实用新型 反应装置 密闭反应 反应管 位置处 叠置 生产工艺 半导体 生产 灵活 支撑 改进 | ||
【主权项】：
1.一种用于水平舟生产法的反应装置，包括密闭反应管，所述反应管在水平方向的不同位置处布置有水平舟容器，其中，所述水平舟容器包括至少一个第一层水平舟容器，在所述第一层水平舟容器的至少一个上设置有支架装置，在所述支架装置上叠置一第二层水平舟容器，其中，所述支架装置设置为支撑所述第二层水平舟容器，并在所述第一层水平舟容器和第二层水平舟容器之间提供间隙。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于汉能新材料科技有限公司，未经汉能新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821021625.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种硅液溢流后的保护装置以及多晶铸锭炉
- 下一篇：一种改进型的高分羽绒提取机
