[实用新型]一种高真空蒸发源挡板有效
| 申请号： | 201821027139.5 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN208634507U | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 李璐 | 申请（专利权）人： | 沈阳科诚真空技术有限公司 |
| 主分类号： | F16K51/02 | 分类号： | F16K51/02;F16K31/122 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种高真空蒸发源挡板，涉及一种高真空设备技术领域。该实用新型包括气缸结构、连接结构和升降结构，升降结构包括升降定位板和升降定位杆，升降定位板包括第一升降定位板和第二升降定位板，升降定位杆包括第一升降定位杆、第二升降定位杆和第三升降定位杆，气缸结构包括气缸和输出轴，连接结构包括相连接的法兰结构和波纹管，法兰结构包括法兰压盖和法兰接管。本实用新型具有简洁，便捷，成本低廉，安全可靠，使用寿命长的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 升降定位杆 升降定位板 本实用新型 蒸发源挡板 法兰结构 连接结构 气缸结构 升降结构 高真空 高真空设备 法兰接管 法兰压盖 使用寿命 波纹管 输出轴 气缸 | ||
【主权项】：
1.一种高真空蒸发源挡板，其特征在于，包括气缸结构、连接结构和升降结构，所述升降结构包括升降定位板和升降定位杆，所述升降定位板包括第一升降定位板和第二升降定位板，所述升降定位杆包括第一升降定位杆、第二升降定位杆和第三升降定位杆，所述第一升降定位板和所述第二升降定位板通过所述第一升降定位杆、所述第二升降定位杆和所述第三升降定位杆固定连接，所述气缸结构包括气缸和输出轴，所述气缸安装在所述第一升降定位板上端，所述输出轴位于所述第一升降定位板和所述第二升降定位板之间，所述气缸通过所述输出轴与所述连接结构连接，所述连接结构包括相连接的法兰结构和波纹管，所述法兰结构包括法兰压盖和法兰接管，所述波纹管的一端与所述输出轴连接，所述波纹管的另一端与所述法兰接管连接，所述法兰接管通过所述法兰压盖与所述第二升降定位板固定连接。
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