[实用新型]硅片导电类型判别设备有效

专利信息
申请号: 201821029389.2 申请日: 2018-06-29
公开(公告)号: CN208505950U 公开(公告)日: 2019-02-15
发明(设计)人: 李振;陈久林;丁建明;崔钟亨 申请(专利权)人: 韩华新能源(启东)有限公司
主分类号: G01N27/04 分类号: G01N27/04
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 孙仿卫;林传贵
地址: 226200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种硅片导电类型判别设备,包括传送轨道、用于将待测的硅片放置于所述传送轨道上的前端机械手臂、位于所述传送轨道上的电极滚轮、与所述电极滚轮相连接的且用于测试所述硅片实际电阻值的欧姆测试仪以及将所述待测硅片分选至承载容器内的后端机械手臂和控制系统,所述前端机械手臂和后端机械手臂上设置有用于吸取所述硅片的吸片器。本实用新型的一种硅片导电类型判别设备,能够快速分辨出硅片的导电类型,结果准确。
搜索关键词: 硅片 导电类型 机械手臂 传送轨道 判别设备 本实用新型 电极滚轮 承载容器 硅片放置 控制系统 测试仪 吸片器 电阻 分选 分辨 测试
【主权项】:
1.一种硅片导电类型判别设备,其特征在于:包括传送轨道、用于将待测的硅片放置于所述传送轨道上的前端机械手臂、位于所述传送轨道上的电极滚轮、与所述电极滚轮相连接且用于测试所述硅片实际电阻值的欧姆测试仪、将所述待测硅片分选至承载容器内的后端机械手臂以及控制系统。
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