[实用新型]生长炉

摘要

本实用新型提供一种生长炉，涉及晶体培养设备领域，生长炉包括：炉体、坩埚、坩埚托组件、第一驱动机构、籽晶托组件和第二驱动机构，坩埚设置于炉体内，炉体内设有加热装置，坩埚包括坩埚本体和籽晶管，籽晶管与坩埚本体连通；坩埚托组件设有用于容纳籽晶管的容置通道，坩埚托组件的一端与坩埚本体连接，籽晶托组件的一端可穿设于容置通道内；第一驱动机构与坩埚托组件的另一端传动连接，第二驱动机构与籽晶托组件的另一端传动连接。通过第一驱动机构带动坩埚以一定的速度靠近或远离加热装置，同时通过第二驱动机构带动籽晶托组件以一定速度远离或靠近籽晶管。因此，生长炉对结晶区温度梯度的调节更加精细，可以确保晶体生长的质量更好。

主权项

1.一种生长炉，其特征在于，包括：炉体、坩埚、坩埚托组件、第一驱动机构、籽晶托组件和第二驱动机构，所述坩埚设置于所述炉体内，所述炉体内设有加热装置，所述坩埚包括坩埚本体和籽晶管，所述籽晶管设置于所述坩埚本体上远离所述加热装置的一端，所述籽晶管与所述坩埚本体连通；所述坩埚托组件设有用于容纳所述籽晶管的容置通道，所述坩埚托组件的一端设置于所述炉体内，且与所述坩埚本体连接，所述籽晶托组件的一端设置于所述炉体内，且可穿设于所述容置通道内，所述坩埚托组件和所述籽晶托组件均用于向所述籽晶管内传递热量；所述第一驱动机构与所述坩埚托组件的另一端传动连接，以带动所述坩埚托组件和所述坩埚靠近或远离所述加热装置，所述第二驱动机构与所述籽晶托组件的另一端传动连接，以带动所述籽晶托组件靠近或远离所述籽晶管。