[实用新型]一种SEM夹具有效
申请号: | 201821041744.8 | 申请日: | 2018-06-29 |
公开(公告)号: | CN208476832U | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 盛司光;安邦;常佳丽;谢添;孙常尚 | 申请(专利权)人: | 天臣新能源研究南京有限公司 |
主分类号: | G01N23/2204 | 分类号: | G01N23/2204;G01N23/2251 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 高志军 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种SEM夹具,包括夹具底板、立板、线性导向轴、定位销和圆线螺旋弹簧,所述立板的数量为3~5个,且并列插接在夹具底板上,相邻的两个所述横板的上端面之间夹设电极膜片,多个并列设置的横板前端面均穿设1个定位销,所述线性导向轴置于容置槽内,其一端串接容置槽内的凸块,另一端固设在与容置槽贯通的夹具底板侧端面的安装孔内,所述圆线螺旋弹簧设在线性导向轴串接的第一块凸块的外侧容置槽内,其一端与凸块相接,另一端固设在容置槽的内壁面上;本实用结构简单,利用圆线螺旋弹簧的弹力可同时将多个电极膜片夹持在相邻的两立板之间,便于观察电极膜片端面的形貌,有效提高了工作效率和试验准确率。 | ||
搜索关键词: | 容置槽 线性导向轴 电极膜片 夹具底板 螺旋弹簧 凸块 圆线 夹具 定位销 横板 立板 形貌 本实用新型 并列设置 工作效率 实用结构 安装孔 串接的 前端面 上端面 准确率 侧端 插接 穿设 串接 夹持 夹设 内壁 并列 贯通 观察 试验 | ||
【主权项】:
1.一种SEM夹具,其特征在于,包括夹具底板、立板、线性导向轴、定位销和圆线螺旋弹簧,所述立板由横板以及分别设在横板下端两侧的凸块构成,所述夹具底板上开有两个供凸块插接的容置槽,所述立板的数量为3~5个,且并列插接在夹具底板上,相邻的两个所述横板的上端面之间夹设电极膜片,多个并列设置的横板前端面均穿设1个定位销,且相邻的两个所述定位销交错设置,所述线性导向轴置于容置槽内,其一端串接容置槽内的凸块,另一端固设在与容置槽贯通的夹具底板侧端面的安装孔内,所述圆线螺旋弹簧设在线性导向轴串接的第一块凸块的外侧容置槽内,其一端与凸块相接,另一端固设在容置槽的内壁面上。
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