[实用新型]玻璃基板清洗系统有效
| 申请号： | 201821047024.2 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN208866037U | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 郭向阳;郭锋;刘文泰;魏德皇 | 申请（专利权）人： | 芜湖东旭光电装备技术有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭集团有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/12;B08B1/04;B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 苏瑞;耿超 |
| 地址： | 241000 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种玻璃基板清洗系统，该系统包括通过传送机构依次连接的：物理清洗单元(1)，化学清洗单元(2)和干燥单元(3)。本公开在玻璃基板清洗系统中增加化学清洗单元，配合传统的物理清洗方法，大大提高了对玻璃基板的清洗效率，且清洗效果优异，尤其适用于清洁度要求高的电子玻璃基板。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基板清洗 化学清洗单元 物理清洗 清洁度要求 玻璃基板 传送机构 电子玻璃 干燥单元 清洗效果 清洗效率 依次连接 传统的 基板 配合 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板清洗系统，其特征在于，该系统包括通过传送机构依次连接的：物理清洗单元(1)，化学清洗单元(2)和干燥单元(3)；所述化学清洗单元(2)包括洗涤剂清洗机构(21)，所述洗涤剂清洗机构(21)包括延玻璃基板运行方向均匀设置的多个洗涤剂喷头(211)和通过管线与所述洗涤剂喷头(211)相连的洗涤剂输送泵。
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