[实用新型]一种PECVD设备的折叠缩放电极

摘要

本实用新型公开了一种PECVD设备的折叠缩放电极，PECVD设备具有一矩形的镀膜空腔，包括多个可活动抽取的电极模组，每个电极模组包括负极固定板以及固定连接在负极固定板下方的正极固定板，所述负极固定板上表面安装有多个呈上下叠层设置且可以拉伸展开的负电极板组，负电极板组的一端通过第一固定边条与负极固定板相固定，负电极板组的另一端通过第一活动边条可滑动的连接到负极固定板上，所述正极固定板下表面安装有多个呈上下叠层设置且可以拉伸展开的正电极板组，正电极板组的一端通过第二固定条与正极固定板相固定，正电极板组的另一端通过第二活动边条可滑动的连接到正极固定板上，本电极板的面积可以根据需要进行灵活调节，满足了不同大小工件的多样化加工需求，较大程度的利用了镀膜空间，大大节省了纳米材料。

主权项

1.一种PECVD设备的折叠缩放电极，所述PECVD设备具有一矩形的镀膜空腔，镀膜空腔的前端开口且开口铰接有一可打开的密封门，镀膜空腔的左右两竖直侧壁分别固定安装有左绝缘条阵列和右绝缘条阵列，所述左绝缘条阵列和右绝缘条阵列包括多个上下等间隔设置的长条形绝缘条，长条形绝缘条远离竖直侧壁的一侧面固定安装有与射频电源连接的触片，所述左绝缘条阵列的多个长条形绝缘条和右绝缘条阵列的多个长条形绝缘条一一正对设置，还包括多个可活动抽取的电极模组，每个电极模组包括负极固定板以及固定连接在负极固定板下方的正极固定板，所述负极固定板左右侧边的宽度大于正极固定板左右侧边的宽度，所述负极固定板与正极固定板通过绝缘体固定连接，其特征在于，所述负极固定板上表面安装有多个呈上下叠层设置且可以拉伸展开的负电极板组，负电极板组的一端通过第一固定边条与负极固定板相固定，负电极板组的另一端通过第一活动边条可滑动的连接到负极固定板上，所述正极固定板下表面安装有多个呈上下叠层设置且可以拉伸展开的正电极板组，正电极板组的一端通过第二固定条与正极固定板相固定，正电极板组的另一端通过第二活动边条可滑动的连接到正极固定板上，所述负极固定板和正极固定板的左右侧边均设置有导体，导体通过导线与负电极板组或正电极板组连接，当所述电极模组插入时，所述负极固定板的导体与镀膜空腔的左右两竖直侧壁接触形成接地，所述正极固定板的左右侧边的导体通过触片与射频电源连接。