[实用新型]一种硅片制绒槽式机

摘要

本实用新型涉及一种硅片制绒槽式机，包括槽体(1)，位于所述槽体底部的循环管路(2)和位于所述循环管路上方的底板，其特征在于，所述底板包括固定基座(3)和实心板(4)，所述固定基座固定在所述槽体的槽壁上，所述实心板与所述固定基座可拆卸连接，所述底板设有硅片承载区，所述底板的硅片承载区外设有多个通孔(5)，通孔分别位于所述实心板和所述固定基座上。本实用新型一种硅片制绒槽式机，结构新颖，设计巧妙，分体式的底板和多个通孔有效降低了循环系统产生的气泡对硅片制绒的影响，同时降低了的检修作业难度，提升了整机运行的稳定性，最终有效提高了硅片产品的品质。

主权项

1.一种硅片制绒槽式机，包括槽体(1)，位于所述槽体底部的循环管路(2)和位于所述循环管路上方的底板，其特征在于，所述底板包括固定基座(3)和实心板(4)，所述固定基座固定在所述槽体的槽壁上，所述实心板与所述固定基座可拆卸连接，所述底板设有硅片承载区，所述底板的硅片承载区外设有多个通孔(5)，通孔分别位于所述实心板和所述固定基座上。