[实用新型]研磨装置用承载头及用于该承载头的隔膜有效
| 申请号： | 201821060237.9 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN208663458U | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 申盛皓;孙准晧 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及研磨装置用承载头及用于该承载头的隔膜，将沿着底板的半径方向配置于第一隔壁外侧的第二隔壁以与第一隔壁不同的厚度形成，借助于此，可以使研磨量偏差实现最小化，并且提高研磨品质。 | ||
| 搜索关键词： | 承载头 隔壁 研磨装置 隔膜 底板 半径方向配置 本实用新型 研磨 研磨量 最小化 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，包括：底板，其对基板进行加压；第一隔壁，其在所述底板的上表面延伸形成，具有第一厚度；第二隔壁，其配置于所述第一隔壁的外侧，在所述底板的上表面延伸形成，具有与所述第一厚度不同的第二厚度。
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