[实用新型]可提高放大倍数的位移传感器

摘要

本实用新型提供了一种可提高放大倍数的位移传感器，该可提高放大倍数的位移传感器包括三角波反射镜，所述三角波反射镜包括至少三个反射面，所述至少三个反射面沿移动方向依次分布；激光源，用于发射出激光束，且所述激光束入射至三角波反射镜的一个反射面；反射镜组，包括至少两个反射镜，所述至少两个反射镜沿移动方向依次分布；光电探测器，用于接收经反射面反射，且不被反射镜组接收的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。本实用新型通过多个反射镜的设置，可以实现测量位移多倍放大，继而可提高位移传感器的放大倍数与测量精度。

主权项

1.一种可提高放大倍数的位移传感器，其特征在于，包括：三角波反射镜，包括至少三个反射面，所述至少三个反射面沿移动方向依次分布；激光源，用于发射出激光束，且所述激光束入射至三角波反射镜的一个反射面；反射镜组，包括至少两个反射镜，所述至少两个反射镜沿移动方向依次分布；每个所述反射镜至少对应一个所述反射面，所述反射镜用于接收对应反射面反射的激光束，并使接收的激光束再次发生反射；所述反射面，用于接收激光源发射的激光束或反射镜反射的激光束，并使接收的激光束再次发生反射；光电探测器，用于接收经反射面反射且不再被反射镜组接收的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移变化值。