[实用新型]一种有机光刻胶剥离液的制备装置有效
| 申请号： | 201821067938.5 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN208636652U | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 郭超 |
| 地址： | 214400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种有机光刻胶剥离液的制备装置，包括依次连接的单乙醇胺储罐、第一过滤器、混合罐、调节阀、第四过滤器和成品罐，所述混合罐上还连接有有机溶剂储罐和表面活性剂储罐，所述有机溶剂储罐和表面活性剂储罐分别于第二过滤器和第三过滤器连接后再与混合罐相连，所述单乙醇胺储罐设置于水浴加热装置容器内。本装置中每一个原料均经过过滤后在进行混合，使产品中杂质更少，减轻了混合完成后产品过滤的压力，其中将单乙醇胺储罐设置在水浴槽内，气温较低时，先通过水浴将储罐内的单乙醇胺温和加热后再进行混合，使得各组分混合更充分、更均匀，产品杂质更少，纯度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 储罐 单乙醇胺 混合罐 表面活性剂储罐 有机光刻胶 有机溶剂 制备装置 剥离液 过滤 水浴加热装置 过滤器 本实用新型 第二过滤器 第一过滤器 过滤器连接 产品杂质 温和加热 依次连接 成品罐 水浴槽 水浴 气温 | ||
【主权项】：
1.一种有机光刻胶剥离液的制备装置，其特征在于，所述制备装置包括单乙醇胺储罐、有机溶剂储罐、表面活性剂储罐、第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器、混合罐、第四过滤器和成品罐；所述单乙醇胺储罐出口与第一过滤器进口相连，所述第一过滤器出口与混合罐进口相连；所述有机溶剂储罐出口与第二过滤器进口相连，所述第二过滤器出口与混合罐进口相连，所述单乙醇胺储罐设置于水浴加热装置容器内；所述表面活性剂储罐出口与第三过滤器相连后再与混合罐进口相连；所述混合罐出口与第四过滤器进口相连，所述混合罐出口与第四过滤器进口的连接管道上设置有调节阀，所述第四过滤器出口与成品罐进口相连。
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