[实用新型]一种超高压波长型MEMS光纤F-P压力计有效
| 申请号： | 201821079520.6 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN208653683U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 杨先辉;李拥军;刘萍;蔡军;雷鹏;程晓东;文宏武;吴志力;唐亮;张洪亮;张运科;王鹏 | 申请（专利权）人： | 中国石油集团渤海钻探工程有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 刘莹 |
| 地址： | 300457 天津市滨*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种超高压波长型MEMS光纤F‑P压力计，包括压力计本体和耐压基体；所述压力计本体包括传感头和导入光纤，所述传感头包括硅反射板和玻璃反射板，所述硅反射板与玻璃反射板通过阳极键合连接；硅反射板与玻璃反射板相接触面设置光纤F‑P腔；所述玻璃反射板与硅反射板相对一侧设置导入光纤安装槽。本实用新型所述的一种超高压波长型MEMS光纤F‑P压力计，通过阳极键合固定F‑P光学干涉腔的2个反射面，实现超高压、高精度的压力测量。 | ||
| 搜索关键词： | 压力计 玻璃反射板 超高压 反射板 光纤 波长 本实用新型 导入光纤 阳极键合 传感头 光学干涉 压力测量 安装槽 反射面 耐压 | ||
【主权项】：
1.一种超高压波长型MEMS光纤F‑P压力计，其特征在于：包括压力计本体(1)和耐压基体(2)；所述压力计本体(1)包括传感头和导入光纤(11)，所述传感头包括硅反射板(12)和玻璃反射板(13)，所述硅反射板(12)与玻璃反射板(13)通过阳极键合连接；硅反射板(12)与玻璃反射板(13)相接触面设置光纤F‑P腔(14)；所述玻璃反射板(13)与硅反射板(12)相对一侧设置导入光纤安装槽(15)；所述耐压基体(2)设置为圆柱形，所述耐压基体(2)外缘设置内凹的测压腔(21)，所述测压腔(21)内设置压力计本体(1)，所述测压腔(21)由压力盖板(3)封装；所述耐压基体(2)上设置外界与测压腔(21)相联通的导入光纤穿孔(22)；所述导入光纤(11)一端从导入光纤穿孔(22)穿入插入导入光纤安装槽(15)内。
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