[实用新型]单晶圆承载盒清洗后吹干设备

摘要

本实用新型公开了一种单晶圆承载盒清洗后吹干设备，包括上风刀机构、下风刀机构、晶圆承载盒运输机构；上风刀机构与下风刀机构包括：风刀主体、进风管、进风腔体，进风管贯穿风刀主体与进风腔体连接，进风腔体朝向运输皮带的一侧均匀分布有扩风管，风刀主体的壁部与进风腔体宽度方向的两侧间设有吸风结构，吸风结构包括倾斜设置的吸风管、缓流板，缓流板弯折分布在吸风管内且其上开设有气流孔；风刀主体宽度方向的两侧螺纹连接有调节旋钮，调节旋钮螺纹连接有风刀固定架。本实用新型的吹干设备，吹扫强度高，吹扫方向可调，晶圆承载盒表面的药液不容易污染和腐蚀风刀内部，提高了对晶圆承载盒的干燥效率。

主权项

1.一种单晶圆承载盒清洗后吹干设备，包括上风刀机构、下风刀机构、晶圆承载盒运输机构，其特征在于，所述晶圆承载盒运输机构包括运输皮带(1)、辊轮(2)，辊轮(2)设于运输皮带(1)之间，单晶圆承载盒(3)放置于运输皮带(1)上，所述上风刀机构与下风刀机构结构相同并设置在运输皮带(1)的上下两侧；所述上风刀机构与下风刀机构包括：风刀主体(4)、进风管(5)、进风腔体(6)，进风管(5)贯穿风刀主体(4)与进风腔体(6)连接，进风腔体(6)朝向运输皮带(1)的一侧均匀分布有扩风管(7)，风刀主体(4)的壁部与进风腔体(6)宽度方向的两侧间设有吸风结构，吸风结构包括倾斜设置的吸风管(10)、缓流板(11)，缓流板(11)弯折分布在吸风管(10)内且其上开设有气流孔；所述风刀主体(4)宽度方向的两侧螺纹连接有调节旋钮(12)，调节旋钮(12)螺纹连接有风刀固定架(13)。