[实用新型]一种电容器的电介质薄膜加工装置

摘要

一种电容器的电介质薄膜加工装置，其包括成膜单元，成膜单元包括成膜单元主体，用于提供成膜的空间，成膜单元主体内包括成膜台、压力传感器、温度传感器、电加热单元以及气体喷管，其中气体喷管为内外双喷管结构，其包括位于内部的用于喷出成膜材料的中心喷管，以及环设在中心喷管外侧的稀有气体喷管，稀有气体喷管的侧壁连接有供给稀有气体的进气导管，进气导管与稀有气体喷管倾斜连接，两者角度为25‑45度；通过单片机控制单元连接压力传感器和温度传感器监测成膜单元内的压力和温度，并且通过控制电加热单元和真空泵自动维持成膜单元内的压力和温度恒定，通过设置稀有气体与进气导管两者的角度实现气流的二次叠加以实现更好的雾化效果。

主权项

1.一种电容器的电介质薄膜加工装置，其特征在于，其包括成膜单元、抽真空单元、材料供给单元、稀有气体供给单元、氧化供给单元以及单片机控制单元；成膜单元包括成膜单元主体，用于提供成膜的空间，成膜单元主体内包括成膜台、压力传感器、温度传感器、电加热单元以及气体喷管，其中气体喷管为内外双喷管结构，其包括位于内部的用于喷出成膜材料的中心喷管，以及环设在中心喷管外侧的稀有气体喷管，稀有气体喷管的侧壁连接有供给稀有气体的进气导管，进气导管与稀有气体喷管倾斜连接，两者角度为25‑45度；抽真空单元包括抽真空开关阀、缓冲装置以及真空泵；材料供给单元位于成膜单元上方，其包括材料储存罐、进液阀、气体泵以及液位显示器；液体泵用于向料储存罐注入氮气，通过材料储存罐材料溶液上方与成膜单元气压差实现材料溶液喷射速度的控制；稀有气体供给单元和氧化供给单元与成膜单元中间均连接有进气开关阀。