[实用新型]一种蓝宝石单晶炉冷却装置有效
| 申请号： | 201821087024.5 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN208857391U | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 王慧远 | 申请（专利权）人： | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B17/00 |
| 代理公司： | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人： | 赵科 |
| 地址： | 030600 山西省晋中市山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种蓝宝石单晶炉冷却装置，包括循环泵组，总进水管、总回水管，蓝宝石单晶炉上方设置有高位水箱，高位水箱配有高位进水管和高位出水管、液位变送器、报警装置、电磁球阀、流速变送器、PLC控制器，其中，循环泵组的电源电路、液位变送器、流速变送器连接PLC控制器输入端口，PLC控制器输出端口连接电磁球阀、报警装置和蓝宝石单晶炉加热装置电源电路。当出现供电故障时，可迅速切换供水源，使单晶炉还能够维持运行，同时设置感应器和PLC控制器，当备用电源也无法及时启动且检测到水箱中剩余水量无法在安全的时间范围内维持循环时，再关闭单晶炉，即可在不影响安全生产的前提下，挽回不必要的经济损失。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石单晶 流速变送器 液位变送器 报警装置 电磁球阀 高位水箱 循环泵组 单晶炉 炉冷却 加热装置电源 输出端口连接 影响安全生产 本实用新型 高位出水管 备用电源 电源电路 供电故障 经济损失 剩余水量 输入端口 总回水管 总进水管 感应器 供水源 进水管 水箱 电路 检测 安全 | ||
【主权项】：
1.一种蓝宝石单晶炉冷却装置，包括循环泵组，总进水管、总回水管，总进水管分为炉体进水管、炉盖进水管、电极进水管、籽晶杆进水管，总回水管分为炉体回水管、炉盖回水管、电极回水管、籽晶杆回水管，所述总进水管匹配设置有循环泵组，其特征是：蓝宝石单晶炉上方设置有高位水箱，高位水箱配有高位进水管和高位出水管，高位水箱内设置液位变送器，高位水箱外设置报警装置，高位出水管设置有电磁球阀和流速变送器，所述高位出水管与所述炉体进水管、炉盖进水管、电极进水管、籽晶杆进水管连通，所述液位变送器、流速变送器、电磁球阀匹配有PLC控制器，其中，循环泵组的电源电路、液位变送器、流速变送器连接PLC控制器输入端口，PLC控制器输出端口连接电磁球阀、报警装置和蓝宝石单晶炉加热装置电源电路。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山西中聚晶科半导体有限公司，未经山西中聚晶科半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821087024.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有化料保温盖的单晶炉
- 下一篇：一种均流装置及扩散炉
