[实用新型]一种半导体废气净化设备

摘要

本实用新型提供一种半导体废气净化设备，涉及废气净化设备技术领域。该半导体废气净化设备，包括除尘器，所述除尘器的左侧外表面靠近上方位置连通有第一进气口，所述第一进气口的外表面固定安装有第一气泵，所述除尘器的内部底端位置固定安装有积水槽，所述积水槽的内部活动安装有滤尘网，所述除尘器的顶端固定安装有水箱，所述水箱的内部固定安装有滤膜，且水箱的左侧固定安装有第一水泵，所述水箱与积水槽之间固定安装有回流管。该半导体废气净化设备，能够对废气中含有的粉尘进行很好地分离并收集，还能够对水进行循环利用，节约了水资源，废气得到了净化，使有害物质与废气有效地分离。

主权项

1.一种半导体废气净化设备，包括除尘器(1)，其特征在于：所述除尘器(1)的左侧外表面靠近上方位置连通有第一进气口(2)，所述第一进气口(2)的外表面固定安装有第一气泵(3)，所述除尘器(1)的内部底端位置固定安装有积水槽(4)，所述积水槽(4)的内部活动安装有滤尘网(5)，所述除尘器(1)的顶端固定安装有水箱(6)，所述水箱(6)的内部固定安装有滤膜(7)，且水箱(6)的左侧固定安装有第一水泵(8)，所述水箱(6)与积水槽(4)之间固定安装有回流管(9)，所述回流管(9)的外表面固定安装有第二水泵(10)，所述除尘器(1)的内壁顶端固定安装有第一喷头(11)，所述第一喷头(11)的右侧固定安装有粉尘浓度传感器(12)，所述除尘器(1)的内壁穿插设置有震动机(13)，所述震动机(13)的一侧固定安装有弹簧(14)，所述弹簧(14)的一侧固定安装有静电块(15)，所述除尘器(1)的右侧固定安装有净化装置(16)，所述净化装置(16)包括外壳(161)，所述外壳(161)的左侧外表面连通有第二进气口(162)，所述第二进气口(162)的外表面固定安装有第二气泵(163)，所述外壳(161)的顶端固定安装有储液盒(164)，所述储液盒(164)的右侧固定安装有第三水泵(165)，所述外壳(161)的内壁顶端位置固定安装有第二喷头(166)，且外壳(161)的内壁固定安装有活性炭层(167)，所述外壳(161)的右侧外表面固定安装有排水口(168)。