[实用新型]一种透射电子显微镜样品台有效
申请号: | 201821090399.7 | 申请日: | 2018-07-11 |
公开(公告)号: | CN208521891U | 公开(公告)日: | 2019-02-19 |
发明(设计)人: | 欧阳亮;邱晓滨;洪丽川;林国林 | 申请(专利权)人: | 厦门芯极科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 361000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种透射电子显微镜样品台,包括底板、旋转装置、升降装置、平移装置和载物台;所述旋转装置通过螺栓居中安装座底板上;所述升降装置位于旋转装置上方;所述平移装置安装在升降装置上方;所述载物台安装在平移装置上;所述旋转装置为旋转气缸。本实用新型采用微型伺服电机等部件来调整高度,因而直径为微纳尺寸的测试试样的初始长度可以自行设定。整个测试装置的结构简单,体积较小,更换便捷,使用方便。 | ||
搜索关键词: | 旋转装置 平移装置 升降装置 透射电子显微镜 底板 微型伺服电机 安装座底板 本实用新型 螺栓 测试试样 测试装置 旋转气缸 自行设定 样品台 载物台 | ||
【主权项】:
1.一种透射电子显微镜样品台,其特征在于:包括底板、旋转装置、升降装置、平移装置和载物台;所述旋转装置通过螺栓居中安装座底板上;所述升降装置位于旋转装置上方;所述平移装置安装在升降装置上方;所述载物台安装在平移装置上;所述旋转装置为旋转气缸;所述底板底部设有真空吸盘;所述真空吸盘安装在底板的四个端点上;所述底板上部设有电池阀。
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