[实用新型]放电型气体激光装置有效
| 申请号： | 201821092663.0 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN208589636U | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 胜海久和;田中诚;仏师田了;田中智史 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/041 | 分类号： | H01S3/041 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 陶海萍;田勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种放电型气体激光装置。所述放电型气体激光装置包括：激光腔室、电源腔室、电极电容器、预电离电容器、冷却机构以及板；所述板包括制冷剂遮蔽部，所述制冷剂遮蔽部抑制制冷剂在所述电源腔室和所述电极电容器之间的空间内的流通。由此，能够增加流通至预电离电容器的制冷剂的量，从而促进预电离电容器的内部冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 制冷剂 气体激光装置 放电型 预电离 电源腔室 电极 遮蔽 本实用新型 冷却机构 内部冷却 激光腔 流通 | ||
【主权项】：
1.一种放电型气体激光装置，其特征在于，所述放电型气体激光装置包括：激光腔室，其收容放电电极和预电离电极；电源腔室，其收容向所述放电电极和所述预电离电极提供电势的电源；电极电容器，其配置于所述电源腔室中，并且向所述放电电极提供放电电势；预电离电容器，其配置于所述电源腔室内，并且向所述预电离电极提供用于预电离的电势；冷却机构，其配置于所述电源腔室内，包括制冷剂供应部和制冷剂排出部；所述制冷剂供应部提供用于对所述预电离电容器进行冷却的制冷剂，所述制冷剂排出部使所述制冷剂从所述电源腔室排出；以及板，其配置于所述电源腔室内，覆盖所述电源腔室和所述电极电容器之间的空间；所述板包括制冷剂遮蔽部，所述制冷剂遮蔽部抑制所述制冷剂在所述空间内的流通。
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