[实用新型]曝光机及线路板的输送装置有效

专利信息
申请号: 201821106930.5 申请日: 2018-07-12
公开(公告)号: CN208477288U 公开(公告)日: 2019-02-05
发明(设计)人: 汪孝军;廖平强;张胜 申请(专利权)人: 中山新诺科技股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 曾旻辉
地址: 528437 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种曝光机及线路板的输送装置,该输送装置包括:第一辊轮;第二辊轮,所述第二辊轮与所述第一辊轮相对间隔设置并配合形成用于输送线路板的输送通道;旋转驱动机构,所述旋转驱动机构与所述第二辊轮传动连接、用于使所述第二辊轮绕所述第二辊轮的轴线转动;位移检测元件,所述位移检测元件用于检测所述线路板在所述输送通道内的位移;及控制器,所述控制器与所述位移检测元件及投影曝光系统均电性连接。该输送装置能够使得投影曝光系统与线路板的运动保持一致,提高曝光效率和曝光质量,从而保证曝光机的生产质量。该曝光机采用了上述输送装置,具有更高的曝光效率及曝光质量。
搜索关键词: 辊轮 线路板 输送装置 曝光机 位移检测元件 投影曝光系统 旋转驱动机构 曝光效率 输送通道 控制器 本实用新型 电性连接 辊轮传动 间隔设置 运动保持 轴线转动 曝光 检测 配合 保证 生产
【主权项】:
1.一种线路板的输送装置,其特征在于,包括:第一辊轮;第二辊轮,所述第二辊轮与所述第一辊轮相对间隔设置并配合形成用于输送线路板的输送通道;旋转驱动机构,所述旋转驱动机构与所述第二辊轮传动连接、用于使所述第二辊轮绕所述第二辊轮的轴线转动;位移检测元件,所述位移检测元件用于检测所述线路板在所述输送通道内的位移;及控制器,所述控制器与所述位移检测元件及投影曝光系统均电性连接。
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