[实用新型]一种陶瓷水冷无法拉第桶射频离子源有效
| 申请号： | 201821123072.5 | 申请日： | 2018-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN208622444U | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 顾玉明;韦江龙;谢亚红;李军;谢远来;梁立振;蒋才超;许永建 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G21B1/15 | 分类号： | G21B1/15 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种陶瓷水冷无法拉第桶射频离子源，包括有双层陶瓷筒，所述的双层陶瓷筒的内侧与外层中间空隙为冷却水道，在双层陶瓷筒的外侧缠绕有射频线圈，在双层陶瓷筒的上端和下端分别设有与冷却水道相通的进水口和出水口，双层陶瓷筒的上端和下端分别固定有上法兰和下法兰，在双层陶瓷筒的上端还密封安装有离子源盖板，在离子源盖板上安装有启动灯丝和进气装置。本实用新型采用无法拉第桶结构结构简单大大的降低了加工成本；不存在法拉第筒屏蔽性，更有利于线圈功率得馈入；结构简单有利于实验人员得调试；两层陶瓷桶之间存在6mm间隙可以通入大量冷却水，水却效果较好。 | ||
| 搜索关键词： | 双层陶瓷 法拉第 上端 本实用新型 射频离子源 冷却水道 离子源 陶瓷水 盖板 下端 法拉第筒 进气装置 密封安装 射频线圈 线圈功率 中间空隙 出水口 进水口 冷却水 屏蔽性 上法兰 桶结构 下法兰 灯丝 馈入 两层 缠绕 调试 陶瓷 相通 加工 | ||
【主权项】：
1.一种陶瓷水冷无法拉第桶射频离子源，其特征在于：包括有双层陶瓷筒，所述的双层陶瓷筒的内侧与外层中间空隙为冷却水道，在双层陶瓷筒的外侧缠绕有射频线圈，在双层陶瓷筒的上端和下端分别设有与冷却水道相通的进水口和出水口，双层陶瓷筒的上端和下端分别固定有上法兰和下法兰，在双层陶瓷筒的上端还密封安装有离子源盖板，在离子源盖板上安装有启动灯丝和进气装置。
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