[实用新型]一种大尺寸金刚石单晶片表面化学机械抛光装置

摘要

一种大尺寸金刚石单晶片表面化学机械抛光装置，包括外壳、加热槽、配重块、集电环、底盘、热电偶和温控仪；外壳连接在底盘上，底盘在外壳内的一面上设置有热电偶，外壳的上部设置有集电环，外壳内上部和下部分别设置有配重块和加热槽，加热槽内设置有加热块，加热块的外围设置有隔热挡板，热电偶和加热块均与集电环通过导线连接，热电偶与温控仪连接。该装置连接在现有化学抛光设备上，将金刚石晶片粘附在底盘上并完全浸入抛光液中，化学抛光设备带动整个装置转动，通过温控仪进行动态的温度调整。该装置能够稳定的施行长时间的多晶片可同时进行化学机械抛光，通过调节配重块和抛光温度，可有效的提升多片同时抛光时的去除速率。

主权项

1.一种大尺寸金刚石单晶片表面化学机械抛光装置，其特征是：包括外壳、加热槽、配重块、集电环、底盘、热电偶和温控仪；外壳连接在底盘上，底盘在外壳内的一面上设置有热电偶，外壳的上部设置有集电环，外壳内上部和下部分别设置有配重块和加热槽，加热槽内设置有加热块，加热块的外围设置有隔热挡板，热电偶和加热块均与集电环通过导线连接，热电偶与温控仪连接。