[实用新型]横向流动式原子层沉积装置

摘要

本实用新型涉及横向流动式原子层沉积装置，包括进样系统、反应系统、抽气系统和控制系统，进样系统中的流量计出口通过载气管路与若干个并联设置的原子层沉积阀的载气进口连接，原子层沉积阀的前驱体接口处安装钢瓶阀门，原子层沉积阀的出口连接进样管路；反应系统中的底座主体上部设有反应腔室，底座主体内设有加热机构，上盖板铰连在底座主体上，底座主体上设有与反应腔室连通的进孔和出孔，进孔与进样管路连接；抽气系统中的吸气管路一端与出孔连接，另一端经真空Y型阀门、吸附过滤器、抽气管路与真空泵连接；控制系统中的控制柜安装在箱体内部，控制柜上设有电器开关面板。本实用新型反应腔室空间紧凑、源消耗量少、设备生产成本低。

主权项

1.横向流动式原子层沉积装置，包括进样系统、反应系统、抽气系统和控制系统，其特征在于：所述进样系统包括设置在箱体(1)内的流量计(2)、载气管路(3)、原子层沉积阀(4)和进样管路(5)，所述流量计(2)的进口处安装有用于连接载气的进气接头(6)，流量计(2)的出口通过载气管路(3)与若干个并联设置的原子层沉积阀(4)的载气进口连接，所述原子层沉积阀(4)的前驱体接口处安装有用于连接源钢瓶的钢瓶阀门(7)，原子层沉积阀(4)的出口连接进样管路(5)；所述反应系统包括底座主体(8)和上盖板(9)，所述底座主体(8)固定安装在箱体(1)顶部，底座主体(8)上部设有开口位于顶部的反应腔室(8a)，底座主体(8)内设有给反应腔室(8a)加热的加热机构，所述上盖板(9)铰连在底座主体(8)上，上盖板(9)盖合时将所述反应腔室(8a)密封；所述底座主体(8)上设有进孔和出孔，所述进孔与出孔在底座主体(8)上呈180°对称分布，进孔和出孔的上端均与反应腔室(8a)连通，进孔下端与进样管路(5)连接；所述抽气系统包括吸气管路(16)、真空Y型阀门(17)、吸附过滤器(18)、抽气管路(19)和真空泵(20)，所述吸气管路(16)一端与底座主体(8)上的出孔下端连接，吸气管路(16)另一端连接真空Y型阀门(17)，所述真空Y型阀门(17)的出口与吸附过滤器(18)的进口连接，所述吸附过滤器(18)的出口通过抽气管路(19)与所述真空泵(20)连接；所述控制系统包括控制柜(21)，所述控制柜(21)安装在箱体(1)内部，控制柜(21)上设有电器开关面板(24)，所述电器开关面板(24)上设有电源开关按钮和紧停按钮。