[实用新型]一种用于蓝宝石芯片蚀刻上片机的ICP基板吸取结构

摘要

本实用新型涉及芯片制备技术领域，且公开了一种用于蓝宝石芯片蚀刻上片机的ICP基板吸取结构，包括支撑腿和横梁，所述支撑腿的顶部固定连接有工作台，所述工作台两端的上表面均开设有滑槽，所述滑槽的内部活动连接有滑块，所述工作台的一侧固定连接有安装板，且安装板的一侧固定连接有第一气缸，所述第一气缸的输出端固定连接有第一活塞杆。该用于蓝宝石芯片蚀刻上片机的ICP基板吸取结构，启动气泵，从而可以使吸盘吸附住基板进行运送，解决了人工转运基板容易造成芯片污染的问题，保证了芯片的生产质量，能够对吸盘与基板之间的接触力度进行缓冲，从而可以避免构件之间因力度过大造成基板表面损坏的问题，达到保护构件的目的。

主权项

1.一种用于蓝宝石芯片蚀刻上片机的ICP基板吸取结构，包括支撑腿(1)和横梁(2)，其特征在于：所述支撑腿(1)的顶部固定连接有工作台(3)，所述工作台(3)两端的上表面均开设有滑槽(4)，所述滑槽(4)的内部活动连接有滑块(5)，所述工作台(3)的一侧固定连接有安装板，且安装板的一侧固定连接有第一气缸(6)，所述第一气缸(6)的输出端固定连接有第一活塞杆(7)，所述第一活塞杆(7)远离第一气缸(6)的一端与滑块(5)的一侧固定连接，所述横梁(2)正面的中部开设有导向槽(8)，所述横梁(2)一端的顶部通过螺栓固定连接有气泵(9)，所述横梁(2)的一端开设有滑孔，且滑孔的内部活动套接有导向杆(10)，所述导向杆(10)的底端通过连接块与滑块(5)的表面固定连接，所述横梁(2)远离导向杆(10)一端的底部固定连接有伸缩杆(11)，所述伸缩杆(11)的一端固定连接有液压缸(12)，所述液压缸(12)的底部通过连接块与滑块(5)的表面固定连接，所述横梁(2)靠近液压缸(12)的一端固定连接有第二气缸(13)，所述第二气缸(13)的输出端固定连接有第二活塞杆(14)，所述第二活塞杆(14)远离第二气缸(13)的一端固定连接有驱动块(15)，所述驱动块(15)与导向槽(8)活动连接，所述驱动块(15)的表面固定连接有支撑块(16)，所述支撑块(16)的底部固定连接有连接杆，且连接杆的一端固定连接有固定块(17)，固定块(17)两侧的内部均开设有活动槽(18)，所述活动槽(18)的内部活动连接有活动杆(19)，所述活动杆(19)的一端固定连接有位于活动槽(18)内部的限位块(20)，所述活动杆(19)的表面活动套接有伸缩弹簧(21)，所述活动杆(19)远离限位块(20)的一端固定连接有圆盘(22)，所述圆盘(22)的表面固定连接有总气管(23)，所述总气管(23)远离圆盘(22)的一端与气泵(9)的输出端固定连接，所述圆盘(22)的表面固定连接有分气管，且分气管的一端固定连接有吸盘(24)。