[实用新型]一种用于蓝宝石芯片的蚀刻上片机有效
申请号: | 201821129755.1 | 申请日: | 2018-07-17 |
公开(公告)号: | CN208352279U | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 洪文庆 | 申请(专利权)人: | 锐捷光电科技(江苏)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于蓝宝石芯片的蚀刻上片机,包括固定底座,所述固定底座的上表面固定连接有工作板和装置箱,所述工作板位于装置箱的左侧,所述工作板的上表面固定连接有固定块,所述固定块的上表面开设有凹槽,所述凹槽内壁的底部固定连接有限位弹簧,所述凹槽的内壁固定连接有限位块,所述限位弹簧的顶端固定连接有固定板。该用于蓝宝石芯片的蚀刻上片机通过在滑块的上表面设置推杆,能够使滑块带动推杆在滑槽的内部移动,能够在推杆的推动下使未加工的蓝宝石芯片将已经蚀刻完成的蓝宝石芯片从工作板的上表面推出,通过简单的操作即可完成蓝宝石芯片蚀刻时的上片与下片,节约了人力财力,为企业创造更大的经济效益。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石 蚀刻 上表面 芯片 工作板 推杆 上片机 固定底座 固定块 装置箱 滑块 本实用新型 凹槽内壁 人力财力 限位弹簧 固定板 弹簧 滑槽 内壁 上片 位块 下片 节约 移动 加工 | ||
【主权项】:
1.一种用于蓝宝石芯片的蚀刻上片机,包括固定底座(1),其特征在于:所述固定底座(1)的上表面固定连接有工作板(2)和装置箱(3),所述工作板(2)位于装置箱(3)的左侧,所述工作板(2)的上表面固定连接有固定块(4),所述固定块(4)的上表面开设有凹槽(5),所述凹槽(5)内壁的底部固定连接有限位弹簧(6),所述凹槽(5)的内壁固定连接有限位块(7),所述限位弹簧(6)的顶端固定连接有固定板(8),所述固定板(8)的外壁与凹槽(5)的内壁活动连接,所述固定板(8)的上表面固定连接有固定杆(9),所述固定杆(9)的外壁与限位块(7)的内壁活动连接,所述固定杆(9)的顶端固定连接有压板(10),所述压板(10)的下表面固定连接有橡胶垫块(11),所述工作板(2)的上表面活动连接有蓝宝石芯片(12),所述蓝宝石芯片(12)的上表面与橡胶垫块(11)的下表面活动连接,所述橡胶垫块(11)的下表面固定连接有挤压块(13),所述固定底座(1)上表面的左侧通过铰接轴铰接有连接杆(14),所述连接杆(14)的顶端固定连接有卡块(15),所述卡块(15)的右侧面与蓝宝石芯片(12)的左侧面活动连接,所述连接杆(14)的右侧面固定连接有回位弹簧(16),所述回位弹簧(16)远离连接杆(14)的一端与工作板(2)的左侧面固定连接,所述装置箱(3)的内部固定连接有正反电机(17),所述正反电机(17)输出轴的一端固定连接有螺纹杆(18),所述装置箱(3)左侧面的内壁开设有固定槽(19),所述螺纹杆(18)的外壁与固定槽(19)的内壁固定连接,所述螺纹杆(18)的外壁活动连接有滑块(20),所述滑块(20)的上表面固定连接有推杆(21),所述装置箱(3)的顶部固定连接有储片箱(22),所述装置箱(3)的上表面开设有滑槽(23),所述滑槽(23)的顶端与储片箱(22)的内部相连通,所述推杆(21)的顶端贯穿滑槽(23)并延伸至储片箱(22)的内部,所述储片箱(22)内壁的顶部固定连接有挡板(24),所述挡板(24)的底端与蓝宝石芯片(12)的中点线平齐。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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