[实用新型]一种稀有气体回收装置有效
| 申请号： | 201821132371.5 | 申请日： | 2018-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN208352255U | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 高志刚 | 申请（专利权）人： | 江苏虹扬光电有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385;H01J9/52;F17C5/06;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;F17D1/02 |
| 代理公司： | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人： | 邱兴天 |
| 地址： | 225000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种稀有气体回收装置，包括依次连接的稀有气体进气口、真空筒、吸气泵、储气罐、真空开关、增压泵、高压针阀和储气瓶，所述稀有气体进气口与冷阴极放电管排气机充气系统连接，收集排气机工位剩余的稀有气体。本实用新型的稀有气体回收装置能将冷阴极放电管排气机工作后剩余的气体大部分回收，回收气体生产的产品和原气体光电参数一致，质量无差异。稀有气体回收装置大幅度减少稀有气体的使用量，气体回收利用率80％以上，显著降低了材料成本，增强企业竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 稀有气体 回收装置 进气口 冷阴极放电管 本实用新型 排气机 储气罐 企业竞争力 材料成本 充气系统 高压针阀 光电参数 回收气体 气体回收 依次连接 真空开关 储气瓶 吸气泵 原气体 增压泵 真空筒 排气 回收 生产 | ||
【主权项】：
1.一种稀有气体回收装置，其特征在于：包括依次连接的稀有气体进气口(1)、真空筒(2)、吸气泵(5)、储气罐(7)、真空开关(8)、增压泵(9)、高压针阀(11)和储气瓶(13)，所述稀有气体进气口(1)与冷阴极放电管排气机充气系统连接，收集排气机工位剩余的稀有气体。
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