[实用新型]一种集成式激光清洗光电系统有效

专利信息
申请号: 201821137934.X 申请日: 2018-07-18
公开(公告)号: CN208743253U 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 谢曦宇;郑重;辜毓净;张兴斌;邓松辉 申请(专利权)人: 深圳市汇泽激光科技有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;G01N21/31
代理公司: 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 代理人: 高占元;吴静
地址: 518000 广东省深圳市南山区粤*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种集成式激光清洗光电系统,其包括用于发射清洗用激光束的激光器、用于在线监测激光清洗过程的在线监测组件、用于分析激光清洗过程的产物成分的光谱分析组件、以及用于将所述激光器的激光束导向入射至待清洗样品的表面的光学组件,且光学组件能够同时将来自待清洗样品的表面向外辐射的光谱信号导向入射至所述在线监测组件和所述光谱分析组件。本实用新型的集成式激光清洗光电系统可以在实现激光清洗的过程中,能够对激光清洗过程进行在线监测和附加产物的在线分析,从而实现对激光清洗工艺过程的精确控制,实现高精度和高效率激光清洗的目的。
搜索关键词: 激光清洗 在线监测 光电系统 集成式 光谱分析组件 清洗 本实用新型 光学组件 激光器 入射 激光束导向 工艺过程 光谱信号 在线分析 高效率 激光束 发射 辐射 分析
【主权项】:
1.一种集成式激光清洗光电系统,其特征在于,包括用于发射清洗用的激光束的激光器(1)、用于在线监测激光清洗过程的在线监测组件、用于分析激光清洗过程的产物成分的光谱分析组件以及用于将所述激光器(1)的激光束导向入射至待清洗样品(10)的表面且同时将来自待清洗样品(10)的表面向外辐射的光谱信号导向入射至所述在线监测组件和所述光谱分析组件的光学组件。
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