[实用新型]一种低功率损耗电容器用金属化膜的蒸镀装置有效

专利信息
申请号: 201821142632.1 申请日: 2018-07-18
公开(公告)号: CN208472180U 公开(公告)日: 2019-02-05
发明(设计)人: 邹卫东;姚成椿 申请(专利权)人: 广东迈特斐薄膜科技有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26;C23C14/14;C23C14/56;C23C14/04
代理公司: 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11394 代理人: 张绮丽
地址: 528322 广东省佛山市顺德区勒流街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开一种低功率损耗电容器用金属化膜的蒸镀装置,包括铝蒸镀装置、锌蒸镀装置,沿基膜的移动方向,所述铝蒸镀装置设在锌蒸镀装置之前,所述铝蒸镀装置包括蒸镀池,所述蒸镀池的一侧设置送丝组件、另一侧设置锌蒸镀装置;所述锌蒸镀装置包括锌炉,所述锌炉的一端设有锌的投料口,所述锌炉上设有供锌蒸气通过的蒸发口,所述锌炉远离蒸镀池的一侧向上抬起,使所述蒸发口的开口朝向基膜,所述蒸发口上设有锌挡板,所述锌挡板与蒸发口相适配,所述锌挡板上设有若干个气口,所述气口用于控制锌的蒸发量比例和限制蒸发方向。其结构简单、紧凑,使得整体装置占用空间小,从而减少设备的占地面积。
搜索关键词: 蒸发口 锌炉 锌蒸 挡板 铝蒸 蒸镀 低功率损耗 电容器用 金属化膜 蒸镀装置 基膜 气口 本实用新型 减少设备 移动方向 占用空间 蒸发方向 整体装置 投料口 锌蒸气 蒸发量 适配 送丝 抬起 紧凑 开口
【主权项】:
1.一种低功率损耗电容器用金属化膜的蒸镀装置,包括铝蒸镀装置、锌蒸镀装置,其特征在于:沿基膜的移动方向,所述铝蒸镀装置设在锌蒸镀装置之前,所述铝蒸镀装置包括蒸镀池,所述蒸镀池的一侧设置送丝组件、另一侧设置锌蒸镀装置;所述锌蒸镀装置包括锌炉,所述锌炉的一端设有锌的投料口,所述锌炉上设有供锌蒸气通过的蒸发口,所述锌炉远离蒸镀池的一侧向上抬起,使所述蒸发口的开口朝向基膜,所述蒸发口上设有锌挡板,所述锌挡板与蒸发口相适配,所述锌挡板上设有若干个气口,所述气口用于控制锌的蒸发量比例和限制蒸发方向。
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