[实用新型]晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置有效
| 申请号： | 201821144243.2 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN208562482U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 孙俊主;刘迟 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | C22B7/00 | 分类号： | C22B7/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型属于晶圆制造技术领域，特别涉及一种晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置。包括一级过滤装置、二级过滤装置及分类排放装置，其中一级过滤装置设置于单元腔体内、且安装在腔体底板上，二级过滤装置设置于单元腔体的外部、且通过第一排放管路与一级过滤装置连接，分类排放装置通过第二排放管路与二级过滤装置连接，实现多种不同性质废液使用不同的排废管路进行分类排放。本实用新型将金属细屑按颗粒等级进行分级回收，大幅提高金属的回收率，分类排放装置可分管路排放不同种类的废液，实现一套排废管路排放多种废液，进而实现了一种金属回收装置用于回收多种金属的可能性，避免资源浪费，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 分类 二级过滤装置 一级过滤装置 排放装置 废液 回收 本实用新型 工艺金属 金属剥离 排放管路 排废管路 排废装置 金属 排放 金属回收装置 单元腔体 腔体底板 单元腔 分管路 分级 晶圆 细屑 种晶 回收率 体内 外部 制造 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置，其特征在于，包括一级过滤装置(1)、二级过滤装置(2)及分类排放装置(3)，其中一级过滤装置(1)设置于单元腔体内、且安装在腔体底板(6)上，所述二级过滤装置(2)设置于所述单元腔体的外部、且通过第一排放管路(10)与所述一级过滤装置(1)连接，所述分类排放装置(3)通过第二排放管路(20)与所述二级过滤装置(2)连接，用于多种药液的分类排放。
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