[实用新型]源液进气恒压装置

摘要

本实用新型提供了一种源液进气恒压装置，在原有的源液进气装置基础上，设计了可为主源瓶补液的副源瓶，可有效稳定源瓶内饱和蒸气压，精准控制通源量，同时源瓶更换方便，无需反复拆接主源瓶，减少源瓶接口处可能存在的漏气隐患。

主权项

1.一种源液进气恒压装置，包括主源瓶(1)，所述主源瓶(1)内盛有源液，所述的主源瓶(1)上设有伸入主源瓶(1)内源液液位下方的进气管(2)，所述的主源瓶(1)上对应源液液位以上具有出气管路(3)，所述出气管路(3)依次经过压力控制器(4)、单向阀(5)与炉管进气口(6)气路连通，所述的进气管(2)一端伸入源液液位下方、另一端连接有氮气进气装置，所述的氮气进气装置包括依次连接的小氮流量计(7)、小氮气动阀(8)和单向阀(5)，所述氮气进气装置的单向阀(5)一端与小氮气动阀(8)管路连通、另一端与进气管(2)管路连通，所述的进气管(2)与出气管路(3)连接压力控制器(4)端间管路连接有主防腐气动阀(9)，其特征在于：所述的主源瓶(1)内设有主液位传感器(10)，所述主液位传感器(10)线路连接有PLC控制器，所述的主源瓶(1)对应源液液位以上还设有补液装置；所述的补液装置包括副源瓶(11)，所述副源瓶(11)内盛有源液，所述副源瓶(11)上还设有伸入副源瓶(11)源液液位下方的进液管路(12)，所述进液管路(12)一端伸入副源瓶(11)源液液位下方、另一端进入主源瓶(1)并位于主源瓶(1)源液液位以上；所述的副源瓶(11)内设有与PLC控制器线路连接的副液位传感器(13)，所述的副源瓶(11)对应源液液位以上具有向副源瓶(11)内补充源液的补液管路，所述的补液管路、进液管路(12)分别与PLC控制器连接并由PLC控制器控制。