[实用新型]等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套有效

专利信息
申请号: 201821149091.5 申请日: 2018-07-20
公开(公告)号: CN208706571U 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 游利 申请(专利权)人: 靖江先锋半导体科技有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32
代理公司: 靖江市靖泰专利事务所 32219 代理人: 陆平
地址: 214500 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套,包括衬套主体;衬套主体包括圆柱型衬套基体;衬套基体外壁的左端头设置有法兰凸台;法兰凸台的右侧、在衬套基体的外壁上设置有卡紧凸台;卡紧凸台的右端、在衬套基体的外壁上匹配设置有盖板;盖板与卡紧凸台之间构成封闭的安装空腔;安装空腔内匹配设置有环形的永久磁铁圈;后期使用过程中,永久磁铁圈套紧在卡紧凸台上不易发生偏移,且盖板也套牢在衬套基体上,并通过焊接的方式固定在衬套主体的右端头,整个直冷阴极衬套的稳定性强,能够保证永久磁铁圈的密封效果,增加了直冷阴极衬套的使用寿命。
搜索关键词: 衬套基体 阴极 衬套 卡紧 凸台 直冷 衬套主体 盖板 外壁 等离子体反应腔室 永久磁铁圈 安装空腔 匹配设置 磁铁环 法兰凸台 密封效果 使用寿命 稳定性强 永久磁铁 右端头 圆柱型 左端头 偏移 焊接 圈套 封闭 保证
【主权项】:
1.等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套,包括衬套主体(1);其特征在于:所述衬套主体(1)包括圆柱型衬套基体(11);所述衬套基体(11)外壁的左端头设置有法兰凸台(12);所述法兰凸台(12)的右侧、在衬套基体(11)的外壁上设置有卡紧凸台(13);所述卡紧凸台(13)的右端、在衬套基体(11)的外壁上匹配设置有盖板(2);所述盖板(2)与卡紧凸台(13)之间构成封闭的安装空腔(3);所述安装空腔(3)内匹配设置有环形的永久磁铁圈(4);所述衬套基体(11)在卡紧凸台(13)左侧处端面的外径尺寸大于衬套基体(11)在卡紧凸台(13)右侧处端面的外径尺寸;所述卡紧凸台(13)包括从上往下依次设置的第一阶梯轴面(131)和第二阶梯轴面(132);所述盖板(2)通过焊接的方式固定在衬套主体(1)的右端头;所述盖板(2)包括从内往外依次设置的盖体基筒体(21)和盖体密封筒体(22);所述盖体基筒体(21)的内孔壁面与衬套基体(11)右端头的外圆壁面之间过盈配合;所述盖体密封筒体(22)的左端头与第一阶梯轴面(131)相匹配;所述永久磁铁圈(4)包括“T”型截面的圆形固定金属圈(41);所述固定金属圈(41)的内孔壁面与第二阶梯轴面(132)的外壁面之间过盈配合;所述固定金属圈(41)的两侧对称设置有长方形钕铁硼永久磁铁块(42);所述固定金属圈(41)的单侧均匀设置有36个钕铁硼永久磁铁块(42)。
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