[实用新型]一种单晶炉的水冷热屏结构

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉的水冷热屏结构，包括单晶炉炉盖以及与该单晶炉炉盖滑动配合的环状的水冷热屏，水冷热屏具有进水口、出水口，水冷热屏包括外屏、内屏，外屏和内屏上下两端密封配合形成内腔，内腔内具有第一导流板、第二导流板以及若干个第三导流板，且第一导流板、第二导流板以及若干个第三导流板将所述的内腔分隔形成供水流单向流动的流道，进水口、出水口均连接有连接管，且所述连接管与炉盖滑动配合。机构简单、维护方便、可靠性高，通过热屏升降装置，升降水冷热屏，保证拉晶速度的均匀性。

主权项

1.一种单晶炉的水冷热屏结构，其特征在于，包括单晶炉炉盖以及与该单晶炉炉盖滑动配合的环状的水冷热屏，水冷热屏具有进水口、出水口，水冷热屏包括外屏、内屏，外屏和内屏上下两端密封配合形成内腔，内腔内具有第一导流板、第二导流板以及若干个第三导流板，且第一导流板、第二导流板以及若干个第三导流板将所述的内腔分隔形成供水流单向流动的流道，第一导流板、第二导流板在所述内屏外壁或外屏内壁上由上至下设置，第一导流板和第二导流板将内屏外壁或外屏内壁分隔出第一弧面、第二弧面，第一导流板与所述内屏、外屏之间密封配合，第二导流板上除其下端与内屏、外屏之间形成缺口外与所述内屏、外屏密封配合，第三导流板在所述内屏外壁或外屏内壁的第二弧面上沿周向设置且相邻两个第三导流板在水冷热屏轴线方向上间隔设置，相邻两个第三导流板中，一个导流板的一端与第一导流板密封配合，另一端与第二导流板之间间隔配合；另一个导流板一端与第一导流板之间间隔配合，另一端与第二导流板密封配合，且位于最下端的第三导流板一端与第一导流板密封配合，另一端与第二导流板间隔配合，进水口设置在所述内屏或外屏上并连通第一弧面对应的空腔部分，出水口设置在所述内屏或外屏上并连通第二弧面对应的空腔部分上端，进水口、出水口均连接有连接管，且所述连接管与炉盖滑动配合。