[实用新型]一种化学气相沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种化学气相沉积装置，属于纳米材料制造领域，一种化学气相沉积装置，包括反应箱，反应箱下端固定连接有底座板，反应箱左右两侧分别设有微波发射器和真空泵，微波发射器与底座板上端之间固定连接有支撑柱，微波反射器和反应箱左端之间固定连接有波导管，且波导管与反应箱左端相连通，真空泵与反应箱之间固定连接有连通管，且真空泵与底座板上端固定连接，连通管与反应箱和真空泵均相连通，反应箱内底端固定连接有反应台，反应台上端固定连接有基片台加热器，基片台加热器上端固定连接有基片，对通向基片的反应气体进行预先布气，反应气体可以扩散均匀后在基片上反应，有效提高基片表面沉积的薄膜均匀性。

主权项

1.一种化学气相沉积装置，包括反应箱(1)，其特征在于：所述反应箱(1)下端固定连接有底座板(2)，所述反应箱(1)左右两侧分别设有微波发射器(5)和真空泵(4)，所述微波发射器(5)与底座板(2)上端之间固定连接有支撑柱，所述微波发射器和反应箱(1)左端之间固定连接有波导管(6)，且波导管(6)与反应箱(1)左端相连通，所述真空泵(4)与反应箱(1)之间固定连接有连通管(3)，且真空泵(4)与底座板(2)上端固定连接，所述连通管(3)与反应箱(1)和真空泵(4)均相连通，所述反应箱(1)内底端固定连接有反应台(8)，所述反应台(8)上端固定连接有基片台加热器(9)，所述基片台加热器(9)上端固定连接有基片(10)，所述基片(10)上侧设有布气板(18)，所述布气板(18)与反应箱(1)内侧壁固定连接，所述布气板(18)上开设有均匀分布的第一通气孔(19)，所述布气板(18)上端滑动连接有气体挡板(16)，所述气体挡板(16)上开设有第二通气孔(17)，且第二通气孔(17)与第一通气孔(19)相匹配，所述气体挡板(16)上侧设有导向杆(11)，且导向杆(11)左右两端与反应箱(1)内侧壁固定连接，所述导向杆(11)上滑动连接有一对滑动套环(12)，一对所述滑动套环(12)与气体挡板(16)之间均固定连接有连接杆(15)，所述反应箱(1)右端对应气体挡板(16)处开设有相匹配的滑孔，所述气体挡板(16)右端贯穿滑孔延伸至反应箱(1)外侧，所述反应箱(1)上端固定连接有进气管(24)，且进气管(24)与反应箱(1)上端相连通。