[实用新型]一种单晶炉防漏硅装置有效
| 申请号： | 201821161557.3 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN208965077U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 时刚;武海军;张灵鸽 | 申请（专利权）人： | 西安创联新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型具体涉及一种单晶炉防漏硅装置，包括不锈钢炉室、设置在不锈钢炉室底部端面上的防漏装置以及设置在不锈钢炉室内部的热场组件，所述的防漏装置上还设有测温报警器；所述的热场组件包括石英坩埚、石墨坩埚、坩埚托盘、坩埚托杆、石墨加热器及保温组件，所述的石英坩埚安装在石墨坩埚内，所述的石墨坩埚安装于坩埚托盘上端，所述坩埚托盘下端安装在坩埚托杆上，所述的坩埚托杆穿过不锈钢炉室安装在下传动系统上，所述的保温组件安装在不锈钢炉室内的侧壁部位及防漏装置上，所述的石墨坩埚外侧还设有石墨加热器，所述的石墨加热器通过加热电极固定在不锈钢炉室上。本装置可以减少因漏硅产生的经济损失，避免安全事故的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 不锈钢 石墨坩埚 炉室 石墨加热器 防漏装置 坩埚托杆 坩埚托盘 防漏硅装置 保温组件 石英坩埚 单晶炉 热场 本实用新型 安全事故 侧壁部位 传动系统 加热电极 经济损失 组件包括 报警器 上端 室内部 测温 下端 穿过 室内 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉防漏硅装置，其特征在于：包括不锈钢炉室、设置在不锈钢炉室底部端面上的防漏装置以及设置在不锈钢炉室内部的热场组件；所述的防漏装置设于不锈钢炉室的底部端面上，所述的防漏装置上还设有测温报警器；所述的热场组件包括石英坩埚、石墨坩埚、坩埚托盘、坩埚托杆、石墨加热器及保温组件，所述的石英坩埚安装在石墨坩埚内，所述的石墨坩埚安装于坩埚托盘上端，所述坩埚托盘下端安装在坩埚托杆上，所述的坩埚托杆穿过不锈钢炉室安装在下传动系统上，所述的保温组件安装在不锈钢炉室内的侧壁部位及防漏装置上，所述的石墨坩埚外侧还设有石墨加热器，所述的石墨加热器通过加热电极固定在不锈钢炉室上。
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