[实用新型]一种X向独立移动的双绑定头机构

摘要

一种X向独立移动的双绑定头机构，两绑定头分别设有X向驱动模组，X向驱动模组包括基座、X向驱动电机、X向驱动丝杆、X向丝杆螺母、X向移动板、X向滑轨、X向滑块，Y向驱动模组与基座驱动连接，X向驱动电机固设于基座上，X向驱动丝杆垂直于Y向驱动模组水平设置，且X向驱动电机的输出端与X向驱动丝杆驱动连接，X向丝杆螺母套接在X向驱动丝杆表面并与X向移动板固定连接，绑定头设于X向移动板上，X向滑轨平行于X向驱动丝杆设于基座上，X向滑块套接在X向滑轨表面并与X向移动板固定连接。本实用新型为两个绑定头分别设置了X向驱动模组，实现了两个绑定头同时吸取晶圆后同时纠正位置，以及同时贴片的功能。

主权项

1.一种X向独立移动的双绑定头机构，包括支架、两Y向驱动模组、两绑定头，所述两Y向驱动模组平行设于支架上，且两Y向驱动模组分别与两绑定头驱动连接，其特征在于：两绑定头分别设有X向驱动模组，所述X向驱动模组包括基座、X向驱动电机、X向驱动丝杆、X向丝杆螺母、X向移动板、X向滑轨、X向滑块，所述Y向驱动模组与基座驱动连接，所述X向驱动电机固设于基座上，所述X向驱动丝杆垂直于Y向驱动模组水平设置，且X向驱动电机的输出端与X向驱动丝杆驱动连接，所述X向丝杆螺母套接在X向驱动丝杆表面并与X向移动板固定连接，所述绑定头设于X向移动板上，所述X向滑轨平行于X向驱动丝杆设于基座上，所述X向滑块套接在X向滑轨表面并与X向移动板固定连接。