[实用新型]真空缓冲装置、连接装置和柔性太阳能电池生产设备有效
| 申请号： | 201821167134.2 | 申请日： | 2018-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN209338656U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 刘宇;闫风 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 覃婧婵 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空缓冲装置，包括外腔室和缓冲腔体；所述缓冲腔体一端连接真空设备，另一端连接外腔室；所述外腔室一端连接大气环境，另一端连接缓冲腔体；所述外腔室和缓冲腔体连接处设置有第一对辊，所述第一对辊带动膜材输送；所述外腔室面向大气端设有第二对辊，所述第二对辊与外腔室之间设有第一密封圈；所述缓冲腔体内还设置有其他对辊，将缓冲腔体分隔为多个真空腔室，所述多个真空腔室分别与不同的真空泵连接。该真空缓冲装置避免了沉积完吸收层后的收卷步骤，也不需要花时间破真空，从而实现了从吸收层到缓冲层之间的连续生产。 | ||
| 搜索关键词： | 外腔室 缓冲腔体 对辊 一端连接 真空缓冲装置 真空腔室 吸收层 密封圈 柔性太阳能电池 本实用新型 真空泵连接 大气环境 连接装置 生产设备 真空设备 大气端 缓冲层 缓冲腔 破真空 膜材 收卷 沉积 分隔 体内 | ||
【主权项】：
1.一种真空缓冲装置，其特征在于：包括外腔室和缓冲腔体；所述缓冲腔体一端连接真空设备，另一端连接外腔室；所述外腔室一端连接大气环境，另一端连接缓冲腔体；所述外腔室和缓冲腔体连接处设置有第一对辊，所述第一对辊带动膜材输送；所述外腔室面向大气端设有第二对辊，所述第二对辊与外腔室之间设有第一密封圈；所述缓冲腔体内还设置有除第一对辊和第二对辊之外的对辊，将缓冲腔体分隔为多个真空腔室，所述多个真空腔室分别与不同的真空泵连接。
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