[实用新型]一种应用于单晶炉的冷却装置及单晶炉有效
| 申请号： | 201821169882.4 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN208562590U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 高伟;翟海青 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种应用于单晶炉的冷却装置及单晶炉，用于拉制高质量单晶硅棒，其特征在于，所述冷却装置包括：水冷套，所述水冷套包括设置在所述水冷套中的环形冷却水循环管路；导热附件，固定连接在所述水冷套的底端并向下延伸部分长度，用于吸收单晶硅棒的热量并传导至所述水冷套进行冷却，其中，所述导热附件的中心设置有空腔，以允许所述单晶硅棒通过，合理控制液面上部温度分布调节单晶硅棒的冷却速率以控制单晶硅棒内部缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅棒 水冷套 单晶炉 冷却装置 导热附件 冷却 本实用新型 环形冷却水 内部缺陷 温度分布 向下延伸 循环管路 中心设置 拉制 控制液 底端 传导 应用 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种应用于单晶炉的冷却装置，用于拉制高质量单晶硅棒，其特征在于，所述冷却装置包括：水冷套，所述水冷套包括设置在所述水冷套中的环形冷却水循环管路；导热附件，固定连接在所述水冷套的底端并向下延伸部分长度，用于吸收单晶硅棒的热量并传导至所述水冷套进行冷却，其中，所述导热附件的中心设置有空腔，以允许所述单晶硅棒通过，合理控制液面上部温度分布调节单晶硅棒的冷却速率以控制单晶硅棒内部缺陷。
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