[实用新型]一种用于步进器的环境腔体部有效
| 申请号： | 201821173730.1 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN208654535U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 周杰;张琪 | 申请（专利权）人： | 安徽睿芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 王桂名 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市经开区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于步进器的环境腔体部，包括腔体室、冷冻机、热点、鼓风机、过滤器、密封盖和通孔板，腔体室内壁底部从左至右依次设有鼓风机、热点和冷冻机，腔体室顶部固定安装有水银灯，水银灯底部连接有位于腔体室内部的对物镜头，腔体室内壁底部连接有冷冻机，腔体室内壁一侧连接有贯穿腔体室厚度方向的进气口，进气口流进的气体穿过冷冻机和热点并进入到鼓风机内，鼓风机内的进气向上流出并穿过过滤器延伸至缩小投影镜头外部连接的壳体上，壳体上的气体穿过壳体内部的收纳口并延伸到壳体外部一侧的通孔板上。有益效果：本实用新型有效的实现环境腔体内的空气循环，保持一个恒温、恒湿干净的环境。 | ||
| 搜索关键词： | 鼓风机 冷冻机 腔体 环境腔 室内壁 进气口 过滤器 本实用新型 底部连接 步进器 腔体室 水银灯 通孔板 穿过 壳体 壳体内部 壳体外部 空气循环 投影镜头 外部连接 贯穿腔 密封盖 室内部 收纳口 物镜头 延伸 恒湿 进气 流出 体内 | ||
【主权项】：
1.一种用于步进器的环境腔体部，其特征在于，包括腔体室(1)、冷冻机(2)、热点(3)、鼓风机(4)、过滤器(5)、密封盖(6)和通孔板(7)，所述腔体室(1)内壁底部从左至右依次设有所述鼓风机(4)、热点(3)和冷冻机(2)，所述腔体室(1)顶部固定安装有水银灯(8)，所述水银灯(8)底部连接有位于所述腔体室(1)内部的对物镜头(9)，所述腔体室(1)内壁底部连接有所述冷冻机(2)，所述冷冻机(2)顶部通过所述密封盖(6)连接有晶片装载台(10)，所述晶片装载台(10)顶部连接有与所述晶片装载台(10)相适配的晶片(11)，所述晶片(11)和所述对物镜头(9)之间连接有位于所述腔体室(1)内壁上的缩小投影镜头(12)，所述腔体室(1)内壁一侧连接有贯穿所述腔体室(1)厚度方向的进气口(13)，所述进气口(13)流进的气体穿过所述冷冻机(2)和所述热点(3)并进入到所述鼓风机(4)内，所述鼓风机(4)内的进气向上流出并穿过所述过滤器(5)延伸至所述缩小投影镜头(12)外部连接的壳体(14)上，所述壳体(14)上的气体穿过所述壳体内部的收纳口并延伸到壳体(14)外部一侧的通孔板(7)上。
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