[实用新型]一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置有效
| 申请号： | 201821173785.2 | 申请日： | 2018-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN209636307U | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;马立云;潘锦功;殷新建;蒋猛 | 申请（专利权）人： | 成都中建材光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;H01L31/0392;H01L31/18 |
| 代理公司： | 51237 成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李华;温黎娟<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 610000四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，包括：蒸发腔体，蒸发源，蒸发源挡板，衬底加热器，衬底支撑架，真空泵，机械臂，本实用新型将蒸发源置于玻璃衬底上方，使玻璃衬底的上表面温度高于下表面，由表面热胀冷缩所产生的形变与重力所产生的形变抵消，有效解决了大面积玻璃在高温下的形变问题。 | ||
| 搜索关键词： | 形变 本实用新型 蒸发源 衬底 碲化镉太阳能电池 玻璃 衬底加热器 大面积玻璃 蒸发源挡板 衬底支撑 镀膜装置 热胀冷缩 有效解决 蒸发腔体 机械臂 上表面 下表面 真空泵 抵消 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，其特征在于，包括：/n蒸发腔体；/n蒸发源，设置于所述蒸发腔体顶部；/n蒸发源挡板，设置于所述蒸发源下侧，所述蒸发源挡板与蒸发源之间为铰链连接，镀膜装置不工作时，蒸发源挡板置于蒸发源正下方，镀膜装置工作时，蒸发源与移动至蒸发源侧部；/n衬底加热器，设置于所述蒸发腔体底部；/n衬底支撑架，设置于所述衬底加热器外侧，可以围绕衬底加热器进行圆周旋转；/n真空泵，设置于所述蒸发腔体侧部；/n机械臂，设置于所述蒸发腔体侧部，所述机械臂为伸缩结构，可用于将玻璃衬底送至衬底支撑架上。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都中建材光电材料有限公司，未经成都中建材光电材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821173785.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种产品镀铝的安装装置
- 下一篇：一种汽车灯具固定工装的制动装置
- 同类专利
- 专利分类
